從真空腔設計開(kāi)始，自主開(kāi)發(fā)樣品臺、蒸發(fā)源和超長(cháng)工作距離顯微鏡，并將他們與探針臺及光譜儀 總裝集成，研制一臺具有形貌、光學(xué)和電學(xué)測量等原位表征功能的蒸發(fā)儀。將發(fā)展并完善自主開(kāi)發(fā)的任 意角度有機蒸發(fā)源，使樣品的生長(cháng)方式便于超長(cháng)工作距離顯微鏡實(shí)時(shí)的對薄膜形貌進(jìn)行原位監測。此外， 擬研制的系統還可以對單個(gè)有機薄膜疇進(jìn)行光學(xué)和電學(xué)測量，實(shí)現生長(cháng)和光電性能的原位演化記錄。
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高端制造
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具有形貌、光學(xué)和電學(xué)測量等原位表征功能的一體化蒸發(fā)儀
類(lèi)型：成熟度：專(zhuān)利號/型號：交易方式：簡(jiǎn)介： 從真空腔設計開(kāi)始，自主開(kāi)發(fā)樣品臺、蒸發(fā)源和超長(cháng)工作距離顯微鏡，并將他們與探針臺及光譜儀 總裝集成，研制一臺具有形貌、光學(xué)和電學(xué)測量等原位表征功能的蒸發(fā)儀。將發(fā)展并完善自主開(kāi)發(fā)的任 意角度有機蒸發(fā)源，使樣品的生長(cháng)方式便于超長(cháng)工作距離顯微鏡實(shí)時(shí)的對薄膜形貌進(jìn)行原位監測。此外， 擬研制的系統還可以對單個(gè)有機薄膜疇進(jìn)行光學(xué)和電學(xué)測量，實(shí)現生長(cháng)和光電性能的原位演化記錄。 -
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